3D Sub-nanometer scanning resolution
Nanovie STM Lepto 能在大氣下掃描樣品表面三維結構,水平方向解析能力達 1 nm 以下。
具備「I-V曲線」、「奈米刻印」、「液態掃描」、「即時針尖修復」等功能,可進行多種研究應用。
影像處理與分析工具完備:直線輪廓、島嶼計算、傅立葉轉換、過濾器、矩陣運算、立體影像等等。
DLC類鑽碳膜,常應用於表面抗磨耐腐。 掃描結果 3D 影像(範圍:1500 X 1500 nm)
縮小範圍重掃左上方 400 X 400 nm 區域。
3D 呈現可依高度定義顏色,並調整光源。
Dual Scanners & XY Motor Stage
搭載配獨特的移動平台技術,能以小於 100 nm 之距離移動樣品,易於找尋掃描目標。
內建兩組掃描模組,可直接切換。無需移除探針、樣品、或掃描器,即能選擇高解析度或是大範圍掃描器。
- 自動進針、移動平台、雙掃描頭、液態掃描
- 多項創新工能整合,便利性優於各款STM
- 不需真空、不需避震桌、不需高壓電源
- 輕便可攜、只需筆電隨時隨地可工作
Research and Analysis
硒化鉛 (PbSe), 半導體, 可應用於溫度分析與氣體檢測等。

在1000 X 1000 nm的掃描範圍下
找到石墨基板上的 PbSe

選取目標,縮小掃描範圍(400 X 400 nm),重新掃描
取得形貌細節,並測得顆粒直徑約 15 nm;高度約 1 nm
摻氟氧化錫 SnO 2 (FTO), 可應用於觸控螢幕、光電薄膜等。
FTO 表面形貌的 3D 影像
掃描範圍:1860 X 1860 nm

FTO 顆粒的直線輪廓分析
顆粒直徑約 200 nm;高度約 3 nm
其他掃描範例:

金原子團, 掃描範圍:400 nm
顆粒直徑 6 ~ 15 nm
顆粒高度 ~ 0.8 nm

TiO2 鈦合金表面,範圍:300 nm
顆粒直徑 6 ~ 8 nm
顆粒高度 ~ 0.5 nm

石墨表面、破碎台階
掃描範圍:150 nm
台階落差:0.4~1 nm
Range of Application
基礎研究:
實驗室應用或碩博士研究:奈米科技、半導體、表面材料、光電、固態物理、溼化學與電化學等。
教育訓練:
- 訓練更多的研究員操作專業真空 STM 機台;
- 設計各種創新實驗課程;
- 一般課堂上直接進行演示教學。
|
|
Scan with ease and speed
進階控制,友善界面
範例中,選取的掃描區塊 126 X 126 nm,左側為即時掃描影像,左下為單線輪廓。
操作程序簡易:(1)自動進針、(2)即時回饋即時調整參數、(3)步進平台移動樣品找尋目標、
(4)切換掃描頭調整至適當的掃描範圍與解析度、(5)過程中可執行針尖修復,維持掃圖品質。
Scanning Tunnelling Spectroscopy - IV Curve
掃描完成後,進入I-V Curve量測模式,點選所要量測的目標。本例為 126 nm X 126 nm 掃圖。
所用參數,電壓範圍:-2000 mV ~ +2000 m 電流範圍:-100 nA ~ +100nA
In-Liquid Scan
液態中取得奈米尺度的 3D 影像,對於溼化學與電化學,像是有機分子、銹蝕、與其他表面材料分析,都很有幫助。.
- 純水下掃描 DVD 溝槽
- 掃描範圍:560 X 560 nm
- 純水下掃描石墨台階
- 掃描範圍:1500 X 1500 nm
Lithography
掃描完成後,在樣品表面繪製向量蝕刻路徑。蝕刻完成後再原處以原針重新掃描,取得蝕刻結果。
在平整的石墨表面進行蝕刻,量測蝕刻深度為 9 ~ 12 nm,寬度約 125 nm。
Real-Time Tip Restoration
掃描過程中針尖吸附髒污、或是輕微刮傷,會造成掃圖變差。使用針尖修復功能,有機會恢復掃圖品質。
上圖所出現白點斑紋,即為針尖兩次刮到樣品表面。 使用針尖修復功能後掃描恢復正常。
|
|
|
Specifications: |
STM Scan Range and Resolution |
|
High Resolution Scanner
|
XY Scan Range: ~ 1 μm / XY Physical Resolution: ~ 0.5 nm
Z Scan Range:
~ 0.8 μm / Z Physical Resolution: < 0.05 nm |
|
Large Area Scanner |
XY Scan Range: ~ 4 μm / XY Physical Resolution: ~ 2 nm
Z Scan Range:
~ 2.4 μm / Z Physical Resolution: ~ 0.1 nm |
|
Extended Scan Mode |
High Resolution XY Scan Range: ~ 1.5 μm
Large Area XY Scan Range: ~ 6.0 μm |
|
Sample Bias Voltage |
±10 V |
|
Tunneling Current |
0.1 – 100 nA |
|
Tip-to-sample Approach |
- Automatic & manual control via software
- Speed & step configurable. |
|
Scan Features |
- Constant-current Scan
- Constant-height Scan*
- Scanning Tunnelling Spectroscopy (STS / I-V Curve)
- Lithography |
|
Scan Image Size |
100 x 100 ~ 550 x 550 points |
|
XY Motor Stage (Extended Scan Mode only) |
|
Distance per step in XY direction
|
~ 100 nm |
|
Stroke in XY direction |
± 1.5 mm |
|
Tunneling Current |
0.1 – 100 nA |
|
Sample Bias Voltage |
±10 V |
|
Lithography |
|
Vector Writing Driving Resolution
|
~ 1.0 nm |
|
Vector Writing Voltage |
-10 V ~ +10 V |
|
Scanning Tunneling Spectroscopy (I-V Curve) |
|
Scanning Voltage Resolution
|
~ 1.0 mV |
|
Scanning Voltage Range |
-10 V ~ +10 V |
|
Tunneling Current |
0.1 – 100 nA |
|
Accessories & Consumables |
|
Sample Holder/Tip Holder |
Magnetic quick change attachment |
|
Tips (Consumables) |
- Standard Tungsten Tips (CR ≤ 100nm)
- Insulated Tungsten Tips (for in-liquid imaging) |
|
Camera |
High Maginification; External (for monitoring tip & sample) |
|
Machine Dimensions |
|
Height X Diameter (mm) |
200 X 150 |
|
Weight (kg) |
3.0 kg |
|
Electronic Box |
|
Input/Output Channels |
16-bit A/D and D/A converters |
|
Scan Drive Voltage |
±10 V |
|
Dimensions (mm) |
211 (W) x 40 (H) X 85 (D) |
|
Computer Requirement |
|
Operating System |
Windows 2000, XP, Vista, 7, 8, 10 |
|
Connecting Port |
Two (2) USB ports |
|