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電子顯微鏡

 

 

EMCRAFTS SEM

30萬倍電子顯微鏡

EMCRAFTS 讓使用者在空間有限或是預算有限的條件下,也能建構一台完整功能的SEM系統,可以添加各種先端的分析工具,包括: EDS, BSE, EBSD, CL, LVSED等。除了像桌上型電子顯微鏡一樣不佔空間、一樣可以移動之外,EMCRAFTS更提供了無以比擬的高解析能力(最佳達 3 nm),也可以加配可變壓力功能來擷取溼樣品影像。在目前眾多的SEM方案中,EMCRAFTS 提供了難以匹配的成本效益比。


 

應用

材料科學

    金屬、陶瓷、高分子、複合物、冶金、斷裂、紋理、老化過程等各種分析與特徵觀察。

機電工程

    半導體、電路編輯、缺陷分析、試誤分析、蝕刻、PN接面視覺影像、太陽能電池檢查等。

生命科學

    植物學、病蟲害、藥學、植牙、奈米顆粒、細胞生物學、藥物遞送等。

其他

    礦物、地質、古生物、考古、化學、環境等研究。

佔用空間小、提供功能強

  • 自動對比、自動亮度、自動對焦、自動校正
  • 透過網路遠端診斷
  • 佔用空間小於一平方米

 

SEM chamber open
 

 


材料科學應用實例

奈米尺度的微結構形貌、形態、組成與結晶影象對材料研究愈來愈是不可或缺,也因此有愈來愈多的實驗室和研究中心採用我們的 SEM 取代傳統的光學顯微鏡來進行金屬、陶瓷、高分子合成等新材料的研究。

 


  • 1: PMMA

  • 2: TiO2 Thin Film

  • 3: Titanium

 


  • 4: Ceramic Film

  • 5: Nb2O5

  • 6: Ag

 


  • 7: Si Solar Cell

  • 8: LMO CeO2

  • 9: Al2O3

 


  • 10: SnO2

  • 11: CaCO

  • 12: SiC Heater

 


機電工程應用實例

在各種需要在微米級或奈米級尺度的世界裡取得高解析的影像或是控制高品質的操控,我們的 SEM 也有廣泛的應用實例: 從可充電電池到太陽能電池、從晶圓到奈米碳管、從接合線到各種半導體元件。

 


  • 1: Graphene

  • 2: ZnC Nanowire

  • 3: ToGo FET

 


  • 4: LTCC

  • 5: BST

  • 6: Y2O3

 


  • 7-1

  • 7-2

  • 7-3

 


生命科學應用實例

生物科學研究,像是有機體、組織模組、藥物傳遞、紅白血球區隔、DNA/RNA的研究,也愈來愈仰賴 SEM 的高解析影像能力。

 



  • Compound Eyes

 


環境科學應用實例

各種自然界的物質、像是岩石與礦物,以及歷史文物的量測、擷取、精鍊與分析,SEM 也突破傳統觀察方法的限制。

 




 


專用軟體

直覺式的圖型界面設計連初學者都能在短時間內上手,對於有經驗的使用者也能毫無困難的操作進階功能。影像的取得只需要使用滑鼠與轉輪,就能控制自動對比、自動亮度、自動對焦與縮放。在操作過程中可以隨時將影像存成 RAW 檔或是縮圖來與其他影像進行比對。

 




 

 

 
 

Specifications:

Basic
  Resolution
  • 3 nm ( 30 kV, SE image )
  • 10 nm ( 3 kV, BSE image )
  Magnification 10 X ~ 300,000 X
  Accelerating Voltage 200 V ~ 30 kV
  Vacuum Mode High vacuum ( < 9×10-3 Pa)
  Vacuum System Turbo pump & rotary pump
(Vacuum ready within 3 minutes)
  Objective IRIS Variable apertures (Diameters: 25 μm, 50 μm, 100 μm, 200 μm)
  Filament
Precentered tungsten filament (Option: LaB6 gun)
  Advanced Scan
  • Dynamic focus
  • Point & line scan
  • Tilt compensation
  Automatic Functions
  • Auto brightness
  • Auto contrast
  • Auto focus
  • Auto gun alignment
  • Remote diagnosis
  Image Display
  • Preview mode : 800 X 600 points
  • Focus mode : 320 X 240 by default, re sizable.
  • Slow mode : Applicable to both preview and focus mode.
  • Photo mode : Up to 3200 X 2400 points
 
Dimensions
  Dimensions (mm) 600 (W) X 623 (D) X 1500 (H)
  Weight 120 Kg
  Power 230V/50Hz
220V/60Hz
110V/60Hz
120V/60Hz
  Sample Size Horizontal : 96 mm
Vertical : 50 mm
  Stage Manual Stage (Option: Automatic Stage)
  • X : 40mm
  • Y : 40mm
  • Z : 5~45mm
  • Tilt:-20° ~ 90°
  • Rotation: 360°
  Image Shift ± 50 μm
 
Options
  Optional Detectors
  • BSE (Back Scattered Electron)
  • EBSD (Electron Back Scattered Diffraction)
  • EDS (Energy Dispersive Spectroscopy)
  • WDS(Wavelength Dispersive Spectroscopy)
  • CL(Cathodoluminescent)
  • Chamber Camera
  Optional Modes Variable pressure for wet sample observation
 
Specifications subject to changes without notice

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